| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 3CVDtel-tel-A13698 | 東京エレクトロン | TEL | SFDTIN CVD チャンバー/12in | 2007 | 1 |
| 3CVDtel-tel-A13699 | 東京エレクトロン | TEL | SFDTIN PM4 CVD チャンバー/12in | 2007 | 1 |
| 3CVDtel-tri-A13684 | 東京エレクトロン | Trias | CVD装置/12in | 2003 | 1 |
| 3CVDtel-tri-A13700 | 東京エレクトロン | Trias | CVDチャンバー/12in | 2017 | 1 |
| 3CVDtel-tri-A13701 | 東京エレクトロン | Trias | CVDチャンバー/12in | 2017 | 1 |
