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| TTC ID | 8ASHmat-asp-7165 | ||
| メーカー | MATTSON | ||
| 型式 | ASPEN-II ICP | ||
| 品名・仕様 | アッシング装置 | ||
| 年式 | Inq. | ||
| 台数 | 1 | この装置について問い合わせる | |
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